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      一種用于結合基板的結合裝置以及方法的發明專利

      858次 2022-06-09 發明專利申請 

      一種用于結合基板的結合裝置以及方法的發明專利

      摘要:

      本發明公開涉及一種結合裝置(10),該接合裝置具有兩個卡盤(24,26)、兩個氣體壓力調節器(38,40)和控制單元(32)??ūP(24,26)各自具有保持表面(46,48),該保持表面帶有與對應的氣體壓力調節器(38,40)流體連接的壓力端口(50,52)??刂茊卧?32)與氣體壓力調節器(38,40)電氣連接和/或無線連接,并且被配置成彼此獨立地控制氣體壓力調節器(38,40)。還設置了可移動地安裝在壓力端口(50,22)內的銷形式的支撐元件(68,70)以測量基材偏轉量并調節對應的氣體壓力,并且還用于向基板(12,14)施加額外的機械壓力。兩個卡盤(24,26)可以安裝在相應的支撐結構(20,22)上以便彼此熱隔離。兩個卡盤(24,26)的溫度可以通過將卡盤(24,26)移動成接觸來均衡??ūP調溫裝置(30)可以用于均衡兩個卡盤(24,26)的溫度。結合裝置(10)用于通過結合波傳播來結合兩個基板(12,14)

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